真空熱處理爐的冷卻方法可分為氣體冷卻和油冷卻和水冷卻氣體冷卻有兩種，一種是加熱冷卻在同一室進行，另一種是加熱式和冷卻室分隔氣冷介質有氫、氦和氬等，常用的是99.999百分之以上的高純氮氣，易被氮化的鈦合金用氫冷卻油冷有必要選用專門的低蒸汽壓真空淬火油。
水冷情況下，冷卻室與加熱室間用真空閥門分隔。首要依托輻射傳熱，工作條件較好，但高溫下易蒸發，避免真空放電（低于100V）鎳鉻和鐵鉻鋁合金在真空中只能用于較低溫度和中度真空規模。
一般運用電壓為220V和380V.鉬、鉭、鎢在真空中加熱容易蒸發，相應的運用溫度下降，一般運用電壓為10--60V.
硅碳棒真空中運用溫度為1400℃，運用電壓為220V和380V ,硅鉬棒真空中1300℃發作軟化，一般運用電壓為10--60V.石墨電極真空中超越2400℃會敏捷蒸發。設備運行中請勿將手伸入爐中,以免燙傷。本機工作溫度范圍為20℃~220 ℃，當開關按入時，高壓電源被接通。指示燈顯示所處的狀態。
