真空燒結(jié)爐首要用于半導(dǎo)體元器材及電力整流器材的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體維護(hù)燒結(jié)及慣例燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝配備，它規(guī)劃構(gòu)思新穎，操作便利，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺設(shè)備上可完結(jié)多個工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。接著跟俺一同看看真空燒結(jié)爐遇到以下三種狀況能夠采納的應(yīng)急辦法。
停電時，假如斷水，應(yīng)立即接通備用的冷卻水，接通水源。假如在非升溫、加熱和冷卻時，能夠趕快康復(fù)時，重新啟動設(shè)備，持續(xù)工作如需求較長時刻，則將設(shè)備保持原狀。
假如正在加熱和冷卻時，能夠趕快康復(fù)時，重新啟動設(shè)備，假如需求較長時刻時，則保持原狀，讓設(shè)備天然冷卻下來。加熱電源掉電、水壓低，當(dāng)水壓低于0.15MPa,壓力表報警，真空放電，水冷電極接頭與加熱器銜接處有必要銜接結(jié)實(shí)，與反射屏絕緣要好。
若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時（此真空度容易發(fā)生放電）。電源呈現(xiàn)毛病，掉電的原因能夠以為因?yàn)殡娊橘|(zhì)擊穿而引起的放電。抽真空開端前，氣體充入時刻長或許無法充入時，請承認(rèn)氣體管路是否被阻塞。
如氣體管路沒問題，查看電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要悉數(shù)中止后再進(jìn)行查看。向真空室內(nèi)充氣不能中止的狀況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要封閉氣體供應(yīng)閥及配管在內(nèi)的一切氣體體系。
