真空爐無廢氣、煙塵，無廢水、廢渣，無環境污染，改進了勞動條件，被稱作亮光熱處理、清潔熱處理和綠色熱處理。真空爐加熱工件無氧化、無脫碳、無合金元素貧化，脫脂脫氣，真空提純，避免氫脆，能完成分級等溫淬火，能操控加熱與冷卻，為自動化、柔性化出產奠定根底。
與鹽浴爐加熱比較，在快速和部分加熱方面，真空爐也有缺乏，由于在某些特定場合下，這種操作也是需求的。零件外表和心部的溫度差，加熱與冷卻的不均勻是形成淬火變形和開裂的主要原因。淬火加熱和隨后的保溫是為了合金元素充沛溶解和奧氏體均勻化。
臥式雙室高壓氣淬和油淬真空爐，較合適模具淬火，應把體積或壁厚附近的零件同爐加工，以設定恰當一致的保溫時刻，包含加熱溫度、加熱速度、保溫時刻、冷卻速度等熱處理工藝參數，對零件功能影響至關重要。
應根據相關技術資料給出的數據來設定淬火加熱溫度，要求二次硬化和回火安穩性高的場合取上限，避免變形和開裂的場合取下限，保溫時刻指全爐最厚零件心部抵達淬火溫度后的停留時刻，其與電爐功率、裝爐量、裝爐方法和零件大小等要素相關。
