真空退火爐和真空回火爐都屬于真空熱處理的范疇，于可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。真空退火爐和回火爐的加熱原理是一樣的，但是對于工件的使用有一些區別。

　　真空退火爐主要適用于不銹鋼拉深件如水暖器材、水脹件、銷、醫療器械、不銹鋼釘、不銹鋼鏍絲、壓鉚件、不銹鋼軸承、表殼、表帶、刀具、微型軸、自攻自鉆、餐具等不銹鋼制品在保護氣氛控制下進行連續光亮退火、固溶、退磁及不銹鋼淬火處理的多用爐。處理后產品表面光潔、不氧化、不脫碳具有生產效率高、能耗低、污染少、操作使用方便、勞動強度低等優點。然而真空回火爐供一般金屬機件在空氣中進行回火以及鋁合金壓鑄件、活塞、鋁板等輕合金機件淬火、退火、時效熱處理之用。