真空泵油使用注意事項：
真空設備用油在密封條件下保質期可以達到三年；
油品應存放陰涼干燥處；
油桶打開使用后，剩余的油應蓋好密封蓋。同時盡快用完剩余的部分，切勿混入其他粉末和液體雜質；
環境工具應保持干凈，若用溶劑清洗后應烘干使用；
根據真空泵的結構精度和使用環境，應選用相應精度品質的油品。
真空泵換油方法：
將泵從系統上拆下，用干凈的方盤接在放油孔下。旋下注油塞和放油塞，放出污油。斷續啟動電機 4~6 ，使各真空小室內的油全部排出。然后從各抽氣管加入干凈的真空泵油 200~300CC 。斷續啟動電動機，再次清洗各真空室。這樣經 2~3 次重復清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。從注油塞處加入干凈的真空泵油到視窗口的中心位置，旋緊注油塞不使漏氣。
換油最好在油溫升高后進行。對泵嚴禁用煤油、汽油、酒精等作非拆的清洗。平時也要注意保護進氣口，檢查濾網，防止灰塵、雜質進入泵內，弄污泵油，損壞真空室。

真空泵換油后產生問題排除方法：
泵出氣口有噴油現象：
油加的過多，減少油的加入量；
進氣口長時間抽大氣，應加以避免；
泵出氣口有霧現象：
檢查進氣口及其他部分是否有漏氣
真空度偏低：
泵腔內及油中是否混入其他輕質液體，新換油后應適當運轉一段時間
檢查泵各密封部分是否有漏氣現象
校對好檢測儀表　
擴散泵 、油增壓泵換油注意事項：
選用品質好的油品；
換油時應全部倒出舊油；
用溶劑汽油或專用清洗劑清洗泵內全部零件，并用丙酮或乙謎擦干，放在烤箱中烘干，也可用吹風機吹干；
按原來部位安裝好泵內外零件，噴嘴應在泵腔中部；
操作者應手戴白紗脫脂手套裝配，按要求量倒入擴散泵油或增壓泵油；
擴散泵使用中產生的問題及排除方法：
真空度偏低：
檢查前級真空；
檢查冷卻水是否暢通，水溫是否偏高；
冷卻水管有沒有部分堵塞；
電爐絲功率偏大或偏小；
供電電壓是否偏低；
各噴油嘴裝配不正確；
規管測量不準確；
儀表或導線不正常；
真空系統是否漏氣；
工作室經長期使用殘留鍍層是否太厚；
由操作不當引起的油品很快氧化，即變紅或變黑：
檢查工作是是否忘記打開冷水；