真空爐整體可大致分為六大組成部分為：爐體、加熱室、充放氣系統、水冷系統、控制（control)系統和真空系統。真空退火爐主要適用于不銹鋼拉深件如水暖器材、水脹件、銷、醫療器械、不銹鋼釘、不銹鋼鏍絲、壓鉚件、不銹鋼軸承、表殼、表帶、刀具、微型軸、自攻自鉆、餐具等不銹鋼制品在保護氣氛控制下進行連續光亮退火、固溶、退磁及不銹鋼淬火處理的多用爐。
爐體主要包括爐殼和傳送裝置。爐殼鋼板的選擇主要是根據爐體承受的壓強來決定的，壓力越高就要選擇相對較厚的鋼板；傳送裝置可分為立式的絲桿傳送和臥式的鏈條（chain)傳送。
加熱室包括保溫屏、加熱元件、水冷電極(electrode)、連接板、支架桿、緊壓螺母、爐床、爐床支柱、導電桿、導電桿接頭等。保溫屏一般分為金屬和石墨(化學式C )兩大類。不充氣的情況下石墨(化學式C )保溫屏采用軟氈的形式；充氣的情況下保溫屏要采用復合硬氈。金屬類保溫屏在低溫的情況下選用不銹鋼(不銹耐酸鋼)材料，高溫的時候要采用鉬(molybdenum)等耐高溫材料(非金屬化合物)。加熱室其他物品一般采用高強石墨(化學式C )，既要保障它耐高溫、強度（strength)大又要保證材料價格便宜。

充放氣系統主要包括：氣瓶、充氣管道、充氣閥、放氣閥等。碳化硅反應燒結爐主要用于反應燒結碳化硅、氮化硅結合碳化硅的真空燒結行業。被廣泛應用于軍工、衛生及建筑陶瓷、航空航天、冶金、化工、機械、汽車等領域。充氣閥的主要作用是：開關氣路，控制（control)氣流大小，定量充氣的作用。
水冷系統主要包括水流量(單位:立方米每秒)計和水壓(特指:壓強)表。其結構為冷壁式結構，即在雙層爐壁之間要不間歇的循環（continue)通水來帶走爐壁升溫過程中產生的熱量(Heat)，防止爐壁升溫過高。在進水口每一路都要有水流量計，確保能觀察到每路水循環的狀態。
控制（control)系統一般主要包括：PLC、控溫表、真空計配套規管、無紙記錄儀、低壓電器、工控機、模擬(定義:對真實事物或者過程的虛擬)板等。PLC的作用就是控制傳輸我們所需要的各個動作的指令，是總控制中心。控溫表主要是在升溫和保溫過程中來調節溫度（temperature)的大小，達到我們需要的溫度。衡量一個真空爐最重要的一個標準就是真空度。真空規管就是測量真空度的傳感器(transducer)，真空計是顯示和控制部分。真空規管將測量到的真空度值以電信號傳給真空計，真空計把電信號轉換成相應的真空度數字值，并顯示出來。有的真空計還可以輸出自動控制信號。真空規管又可分為電離規管和電阻規管。電離規管能準確測量出1pa以下的真空度大小；電阻規管能準確測量出1pa以上的真空度大小。
真空系統主要包括：機械泵、羅茨泵、擴散泵、分子泵、真空閥和電磁壓差閥等。真空淬火爐適用于對大、中型真空產品零部件的固溶處理及時效處理。真空高壓氣體淬火爐是一種非常先進的真空熱處理設備，其出色性能和獨特的設計提供了廣泛的適用高速鋼、模具鋼、不銹鋼、合金鋼、鈦合金等合金材料高精密零件的真空光亮氣淬、退火、磁性材料的燒結及快速冷卻等特點。真空釬焊爐指工件加熱在真空室內進行，主要用于要求質量高的產品和易氧化材料的焊接。真空釬焊爐包括具有圓筒形側壁和門的壓力容器，門的尺寸和位置設計成可封閉圓筒形側壁的一端。工件處理系統安裝在壓力容器門上，用來支承金屬工件進行熱處理或釬焊。工件處理系統包括使工件在處理過程中轉動的裝置。真空系統可連接到工件，使工件內部的壓力在釬焊過程中低于大氣壓。碳化硅反應燒結爐主要用于反應燒結碳化硅、氮化硅結合碳化硅的真空燒結行業。被廣泛應用于軍工、衛生及建筑陶瓷、航空航天、冶金、化工、機械、汽車等領域。機械泵分為旋片泵和滑閥泵為一級泵，可以單獨使用。羅茨泵為二級泵，不可以單獨使用，必須有前級泵。擴散泵和分子泵抽取的極限壓強更小，可使所抽容器達到更高的真空度。泵抽速大小的選取一般根據所抽容積(volume)的大小和極限真空度。真空閥的主要作用是將真空爐內部與外界進行隔開或聯通的裝置，可以使泵停止工作期間真空爐內依然為真空狀態。