電加熱器是真空爐的重要部件，它決議爐子的作業能力和作業期限。電加熱器是由電熱元件組成的，真空爐內的電熱元件的作業條件，與非真空爐比較有以下不同點。電熱元件向工件傳熱的方式不同真空爐的電熱元件是經過輻射向工件傳熱，所以在其他條件相一起，真空爐的溫度比非真空爐的要高。不過，只在低溫爐中溫度不同才比較顯著。
電熱元件與爐內氣氛相互效果的條件不同電熱元件在真空爐內的作業條件比其他狀態下要好，特別是比爐內為氧化氣氛的非真空爐要好得多。因而，電熱元件在真空狀態下對立氧化性要求不高。非真空爐電加熱器中電熱元件作業時除了爐內氣氛與電熱元件發作化學反應外，某些電熱資料，特別是稀有金屬，在加熱時因吸收很多氣體而變脆易損壞，但在真空狀態下這些金屬就能較長時間而可靠地作業。
電熱元件資料的蒸發速度不同電熱資料在真空爐內容易蒸發，因為跟著電熱元件溫度的升高，其蒸氣壓也隨之添加，故運用壽命下降。從這一點看，真空也給電熱元件帶來了晦氣影響。
對于低中溫真空爐（運用溫度不高于1000℃），一般選用鎳鉻合金鐵鉻鋁合金作電熱元件；一于高溫真空爐，特別是運用溫度大于1200℃的真空爐，所運用的電熱元件為鋁鎢鉭等純金屬以及石墨。非金屬電熱資料，如碳化硅在真空下其黏結劑會分化，硅化鋁在真空下超越1300℃時會軟化，因而真空爐很少選用這兩種電熱材料。
